本帖最后由 蓝色芥末 于 2023-7-10 11:32 编辑
广东光大第三代半导体科研制造中心1区项目 环境影响评价公众参与第二次公示 根据《环境影响评价公众参与办法》要求，广东光大第三代半导体科研制造中心1区项目环境影响评价应开展公众参与，现向社会公众进行《征求意见稿》公示，征求公众的意见。 一、建设项目概况 项目名称：广东光大第三代半导体科研制造中心1区项目 建设单位：东莞市中晶松湖半导体科技有限公司 建设地点：东莞市松山湖生态园高端产业片区南朗路旁（东莞松山湖高新技术产业开发区） 项目内容及规模：东莞市中晶松湖半导体科技有限公司是一家集半导体材料、芯片、器件等设计、研发、生产于一体的综合开发公司。2021年10月东莞市中晶松湖半导体科技有限公司拟投资298096万元，在广东省东莞市松山湖园区总部二路2号（北纬23°04′31.876″、东经113°55′13.179″）建设广东光大第三代半导体科研制造中心1区项目。项目占地面积135161.53m2，建筑面积194684.84m2。年产4英寸蓝绿MiniLED外延芯片133.3万片、红光MiniLED外延芯片86.4万片，劳动定员1522人，不提供食宿，采用2班倒24小时工作制，每班12小时，年工作356天。 二、可能造成的环境影响及污染防治措施 1、废气 项目有机废气采用沸石转轮+RTO装置处理；晶片清洗产生的硫酸雾、氯化氢，ICP刻蚀产生的刻蚀废气（氯气、氟化物）经设备配套Scrubber水洗式尾气处理器处理后和其他酸性废气（氯化氢、氯气、氟化物、氯化氢、硫酸雾等）一起采用2套“二级碱液喷淋塔”处理；4英寸蓝绿MiniLED外延芯片外延生长废气所含污染物主要为氨气和颗粒物，采用设备自带的过滤器处理+四级冷凝吸收装置处理；4英寸红光MiniLED外延生长废气所含污染物主要为砷及其化合物和磷及其化合物，采用Scrubber燃烧水洗式尾气处理器+活性炭吸附+静电湿式除尘处理；4英寸红光MiniLED外延芯片外延片清洗、衬底去除产生的废气所含污染物主要为氨气，采用酸液喷淋塔处理；污水处理池恶臭废气经收集后采用二级碱液喷淋塔+干式过滤器+活性炭吸附装置处理；氨水储罐大小呼吸废气主要污染因子为氨，经收集后通过排气筒引至高空排放。采用以上措施后，项目产生的废气都能达标排放。采取上述废气处理措施后，根据预测结果可知，项目废气对周围大气环境影响较小。 2、废水 项目含氟废水、酸碱废水拟采用一套废水预处理规模为3000m3/d的“pH调节+絮凝、混凝沉淀”废水处理设施预处理后进入综合废水池中。 项目有机废水拟采用一套废水预处理规模为4000m3/d的“pH调节+石灰石反应池+混凝沉淀+絮凝沉淀”废水处理设施预处理后进入综合废水池中。 项目砷磷废水拟采用一套废水预处理规模为2000m3/d的“pH调节+多级絮凝沉淀+砂滤罐”废水处理设施预处理后进入综合废水池中。 综合废水经过“pH调节+两级物化反应+两级AO生化系统+MBR系统”处理，再由泵提升进入回用处理系统（精密过滤器+RO装置），处理后进入回用池，并回用于纯水制备系统，回用率为50%。RO装置的浓水进入浓水处理系统进行处理后达标排放。 项目酸碱废水（1104.332m3/d）、有机废水（1846.856m3/d）、砷磷废水（842.41m3/d）经单独预处理后，再与综合废水（1123.53m3/d）一起合计5112.317m3/d经综合废水处理系统和中水回用系统处理后，约2556.16m3/d达到《城市污水再生利用 工业用水水质》（GB/T19923-2005）中“工艺与产品用水”回用于纯水制备系统补水，剩余2556.16m3/d经处理后达到广东省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二时段三级标准、《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T31962-2015)B等级标准及《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排放中半导体器件标准的较严值，经市政污水管网排入东莞市南畬朗污水处理厂处理，满足东莞市南畬朗污水处理厂进水水质要求，对污水处理厂冲击较小，对污水处理厂出水水质影响较小。 3、噪声 经预测结果表明，项目建设后若主要噪声源采取减震、安装消声器等噪声治理措施，并经墙壁隔声，声源产生的噪声在各边界贡献值在51.5~54.9（昼间）、48.9~50.9（夜间）dB（A）之间，昼间符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类区标准，厂界西南边界夜间的噪声贡献值不符合该标准，主要原因是项目西南边界噪声背景值较高，可能是沿路经过车辆较多所导致的。 本项目将采用低噪声设备，加强噪声设备的维护管理，确保厂界噪声值达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准。 4、固体废物 本项目建成后，运营期产生的固体废物包括一般工业固体废物、生活垃圾和危险废物。其中一般工业固体废物包括废蓝宝石片、废过滤材料、废氧化铟锡、废金属、废胶膜、废金属氧化物和普通废包装材料，危险废物包括废硫酸、废丙酮、废盐酸、废异丙醇、废光刻胶、废去胶液、废ITO刻蚀液、废BOE刻蚀液、废去蜡液、废过滤器、污泥、废活性炭、废膜、废沸石和废弃包装材料等。生活垃圾交由环卫部门处理，一般工业固体废物交由专业回收单位处理，危险废物全部采用密封容器进行临时储存，并放置于厂内危险废物仓库内，委托有资质单位进行处理处置，对环境影响是可接受的。 三、环境影响评价报告书主要评价结论 本项目符合国家产业政策要求；项目选址符合城市规划；落实各项污染治理措施后，项目满足当地环境功能要求；符合清洁生产及循环经济要求；污染物排放总量符合总量控制要求；工程风险能够有效控制。在全面、充分落实本报告中提出的各项环保措施及相关排放标准的情况下，从环境影响角度分析，项目建设是可行的。 四、公众查阅环境影响评价报告书征求意见稿的方式和期限 公众可通过本网络公示查看环境影响报告书征求意见稿，若需查阅本项目环评报告书征求意见稿纸质版内容，请在本公告发布之日起10个工作日之内致电建设单位或者环评单位。征求意见稿可通过百度网盘下载或到建设单位现场查阅。 该项目环境影响报告书征求意见稿纸质版本存放于建设单位—东莞市中晶松湖半导体科技有限公司办公室。公众可前往以下地址进行查阅。 建设单位名称：东莞市中晶松湖半导体科技有限公司 通讯地址：广东省东莞市松山湖园区总部二路2号 联系人：黄工 联系电话：18575170473 五、征求公众意见的范围 本次环境影响评价征求公众意见的范围主要是：建设项目环境影响评价范围内的公民、法人、其他组织或其他相关公众。 六、公众提出意见的方式和途径 公众可下载本次公示提供的公众意见表，通过信函、传真、电子邮件或者其他方式，在公示期内将填写的公众意见表提交建设单位。公众提交意见时，应提供有效的联系方式。鼓励公众采取实名方式提交意见并提供常住地址。公众意见表网络链接： 本项目征求意见稿仅供公众查阅，未征得建设单位同意，不得转做他用。 七、公众提出意见的起止时间 公众提出意见的时间为本公告发布之日起10个工作日内。 东莞市中晶松湖半导体科技有限公司 2023年7月7日
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