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某公司拟在工业园区建设一电子元器件生产企业A 厂。电子元器件生产以硅
片为基材,经氨水清洗,氢氟酯/硫酸蚀刻、砷化氢掺杂、硫酸铜化学镀等工序
得到产品。其中掺杂工序和化学镀工序流程见图5-1.
生产过程中产生 的清洗废水、蚀刻废水、尾气洗涤塔永、化学镀废水经预
处理后进最终中和池,最终中和池出水排入园区污水处理厂。废水预处理后的情
况见表5-1.
园区污水处理厂处理能力为5.0×104m3/d。目前实际处理量为3.3×104m3/d,
接管水质要求为COD350mg/L,NH3-N25mg/L,TP6mg/L,其他指标需达到
GB8978-1996 表1 及表4 三级排放标准(氟化物20mg/L,CU2.0mg/L,As0.5mg/L)。
氨水清洗工序产生的清洗废水中氨含量为0.02%,为降低废水中氨浓度,拟
采取热交换吹脱法除氨,氨的吹脱效率为80%,吹脱出的氨经15m 高排气筒排
放(GB14554-93)规定。15m 高排气筒氨排放量限值为4.9kg/h)
问题:
1.给出掺杂工序和化学镀工序废水、废气特征污染因子。
2.根据项目废水预处理情况,判别A 厂废水能否纳入园区污水处理厂。说明理由。
3.列出掺杂工序、化学镀工序废水预处理产生的污泥处置要求。
4.评价本工程采用的热交换吹脱法除氨废气排放达标情况。给出废气排放的控制措施。
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