硅烷和二氯硅烷的质量标准和排放标准该如何确定？

monica8311 · 发表于 2010-6-12 16:11

项目生产过程中用到硅烷和二氯硅烷，查了《工业企业设计卫生标准》（TJ36-79）也没有这两种污染物，前苏联的标准也没有，请问该如何确定这两种物质的质量标准和排放标准？

changss · 发表于 2010-6-13 08:25

你这个是什么项目？
排放的这些废气不处理吗？

monica8311 · 发表于 2010-6-13 15:42

半导体芯片
是要处理的，设备自带焚烧装置把尾气烧掉的，但是不可能100%焚烧掉吧。

木竹禾 · 发表于 2010-6-13 15:57

回复 3# monica8311

看看AMEG和DMEG吧，具体计算公式可在论坛中搜索找到。

平淡是福 · 发表于 2013-5-21 11:27

请问你的问题解决了吗？

guo_mc · 发表于 2014-2-21 16:41

lz解决了么？能不能分享下？

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